二手 NIKON NSR SF140 #293589679 待售

NIKON NSR SF140是一种高性能晶圆步进器，主要用于制造半导体器件。它配备了高分辨率的扫描头、先进的照明设备和专有的透镜系统，使其成为在广泛的材料和基板上进行高精度图样成像的理想工具。主体由用于高精度步进运动的双级XYZ直线电机单元，以及用于快速、精确晶圆对准的XY卡盘夹具机组成。NIKON NSR-SF140具有6轴弯曲结构,可实现超高级加速度和最小化振动,提供稳定的成像过程。标准扫描头配备了超高分辨率5轴级,可实现步长小至6nm的成像。此外，位于扫描头上的CCD相机分辨率为2600万像素，为晶圆图像提供了无与伦比的精确度和细节。NSR SF 140还具有专门的照明工具,通过在整个成像领域提供均匀的BPI（每英寸亮度）来提高基板的通量。光学透镜资产由多个串联透镜组成，NA为0.55，放大范围为5X-100X，即使在高密度图样上也能提供出色的迭加精度。总体而言,NIKON NSR SF 140是一种高度先进的晶圆步进器,旨在提供出色的成像效果。通过结合革命性的扫描头、精确取向的镜头模型和专门的照明设备,NSR-SF140提供了超高分辨率成像和顶级迭加精度的小巧、用户友好的封装。