二手 NIKON NSR SF140 #293630225 待售

NIKON NSR SF140是一个可变领域，光刻扫描仪具有广泛的应用范围，允许高吞吐量和成本效益。它是一种5轴晶圆步进器,旨在通过高度精确的运动、平地投射和新颖的成像光学技术相结合,从最具挑战性的掩模布局中提供卓越的图样质量。无论特征大小、布局或视野如何,其智能照明控制（IIC）都保持恒定的曝光参数。该SF140提供宽视野和大扫描范围兼容性,字段宽度可达1米和150 mm的字段高度。由于其自动对齐和扫描功能,SF140还提供了非常快的晶圆吞吐量和高吞吐量工具加载。它支持背面曝光和场的不均匀性，以进一步增加在一次扫描中执行的芯片面积。利用其载荷和计数指数（L&CI）进行晶片加载和处理,可以快速将不同的晶片重新加载到步进器上,从而缩短时间并提高吞吐量。该SF140还提供了出色的图像均匀性，因为其先进的光学器件在其整个视场上提供了较高的聚焦深度和较低的失真。它还配备了先进的图像处理算法，用于失真校准、像差校正和边缘侵蚀补偿。它的高分辨率成像和聚焦结构协同工作，具有可控的扫描间距和光学聚焦，允许极精细的图样和缺陷自由覆盖，具有可重复的结果。基于SF 140的语音线圈马达设计提供超快的加速度、高精度和无机械作用。它还允许同时进行多轴对准和扫描（卷焊）。由于其小光斑大小和快速的响应时间，它也非常适合于双图桉技术。其他特性还包括一个反电子空间电荷机械手、反电子反射聚焦离子束和激光对准系统，这些都对晶圆曝光很重要。该SF140还有一个室内光束环境管理系统，即使在不太理想的环境中，也能提供稳定和低失真的成像条件。SF140的机器人晶片处理能力提供了多达50个晶片的快速、方便的处理，进一步提高了吞吐量。总体而言,NIKON NSR-SF140提供了精密运动、成像光学和高级软件的出色组合,从而实现了高吞吐量、高级阵列功能和出色的覆盖精度。