二手 NIKON NSR SF140 #9351392 待售

NIKON NSR SF140 Wafer Stepper是先进光刻的高精度工具。它是一种专为大批量生产半导体器件而设计的曝光设备,能够生产功能尺寸不超过20海里的IC。该系统配备了可变放大镜头单元及其专有的设备制造软件包（SPDM）控制软件，用于精确对准和对焦。NIKON NSR-SF140可以精确移动X轴和Y轴中的基板,并在必要时旋转。它利用步进电机驱动一个90度转角的石英玻璃步进阶段，以精确定位IC的每一层。步进器还具有精确对准机，以确保最佳曝光条件。NSR SF 140能够执行各种晶圆处理任务。它可以利用激光二极管或连续辐射暴露一层，也可以执行开发任务；对齐下一层相对于上一层；蚀刻和沉积材料；检查和测试成品。NIKON NSR SF 140是一种高度精确的光刻工具,可以产生可重复的结果,这对于创建高质量的设备至关重要。它具有8英寸晶圆兼容性,旨在以高达每小时5,000晶圆的高生产吞吐量速率运行。NSR SF140采用高精度光学工具,具有0.005 μ m对准精度和0.1 μ m图像可重复性。该资产还具有抗辐射性，并配备了提高产量的振动补偿技术。其准确、快速的运行有助于确保最高质量和最低的生产成本。NSR-SF140还配备了先进的安全功能，寿命长，提供了最佳的正常运行时间。此外,它还配备了集成的诊断工具和损坏预防功能,从而提高了设备的产量。该型号还配备了级联曝光架构，以提高对准精度和提高吞吐量。综上所述，NIKON NSR SF140是一种高度先进和精确的晶圆步进设备。它配备了可变放大镜头系统和复杂的精度控制软件以提供最佳性能，并且该单元能够以高产和吞吐量执行各种任务。该机设备齐全，安全特性，寿命长，是先进光刻应用的理想选择。