二手 NIKON NSR SF155 #9298590 待售

NIKON NSR SF155是一种晶圆步进器，旨在满足先进光刻最严格的要求。它是一个高效的平台，为用户提供成本效率、过程一致性和快速的对齐精度。该工具配备了公司专利的"超级分辨率"技术和优化的剂量率检测器，使其能够产生最先进的纳米电路模式。NSR SF155是由光刻光学模块、曝光控制器、晶圆级和背面对准子系统组成的大型场高分辨率SEMI步进和扫描设备。该SF155提供卓越的光学性能,提供超过55%的视觉度和1.46的高数值孔径（NA）。它还能够提供从5微米到300毫米的广泛曝光范围，从而能够使用先进的制图工艺。该平台采用NSR-EX曝光控制器,可提供电机控制和出色的阵列放置精度。它提供了一个灵活的干涉对准系统，内置干式对准单元，并提供亚纳米对准精度低至10埃。该机在X轴和Y轴上的运动控制能力为5nm，扫描范围可达200nm。光刻工具具有激光标记激光对准源，并具有3晶片自动装载机，以提高生产率和工作效率。该资产还具有计算机集成成像软件包,为用户提供了广泛的功能。平台可以使用扩展焦点范围、晶圆映射、5D图像模拟等各种选项进行定制。NIKON NSR SF155还提供了支持OPC和RET数据格式的高级模式识别和线形分析模型。它还提供了最复杂的光刻应用所需的三维射线形成和线型的缝合。该设备专为高吞吐量操作而设计，具有快速扫描性能和最小的冲击和振动。总而言之，NSR SF155是一个高效的光刻平台，其先进的技术和性能先进的IC制造。