二手 NIKON NSR SF155 #9311227 待售

NIKON NSR SF155是一种晶圆步进器,专为高生产率和多用途的掩模对齐器而设计.步进器非常适合生产高级设备,包括MEMS、LED和传感器,可为各种应用提供卓越的性能。NSR SF155配备了最新的NIKON GEN5光刻源和获得专利的径向均匀性控制设备，以确保高精度和稳定的覆盖。它的150 mm蒙版级提供74mm max X重迭范围，并且可以对齐一个完整的8英寸晶圆。NIKON创新的光学系统和分区单元使晶片与掩模对齐,精度≦ 15 μ m。步进器的机械定位单元以纳米级精度提供最大150 mm的行程范围，只需一次曝光即可实现基板的位置控制。NIKON NSR SF155专为高吞吐量而设计。它具有快速、高效的NIKON非对称频率扫描机（AFSS）,可实现一步扫描过程中的510WPH吞吐量。步进器还配备了7nm俯仰线的多轨场照明工具，以更高的分辨率曝光整体图桉。NSR SF155还设计用于可靠性和低维护。其快速门阀更换资产减少了因维护而造成的停机时间，而其获得专利的超导体静态消除模型减少了步进器中的污染。它还设计有辐射屏蔽和排烟设备，以确保安全运行，同时保持洁净的房间条件。总体而言,NIKON NSR SF155是一种先进的生产步进器,旨在在生产包括MEMS、LED和传感器在内的高级设备时提供最佳性能。它结合了速度、精度和低维护成本，是生产线的理想选择。