二手 NIKON NSR SF200 #293597490 待售

NIKON NSR SF200
ID: 293597490
i-Line stepper.
NIKON NSR SF200是一种晶圆步进器,设计为在半导体器件的组装和制造上高效。它被设计成当今市场上最先进的晶圆步进器之一。其单级还原体系结构加快了晶圆处理速度,确保了高吞吐量和卓越性能。NIKON NSR SF 200具有直径125mm的基板级,是单级还原机上最大的。这允许高密度图样的曝光具有较高的覆盖精度。光子彷照NIKON双级还原(DSR)机,配备处理非平面表面的能力。CFM248曝光头配有200W卤素灯泡,为晶圆应用提供低成本照明。NSR SF200晶片步进器在FWD Type 1透镜下可提供高达22 nm的出色图样精度和分辨率。它配备了七轴自动调整功能,可调整曝光设置,从而实现更快、更精确的阵列性能。其舞台运动速度可达800mm/sec,最大曝光1.2 kV,总传动率100%。NSR SF 200具有许多其他功能,使其成为晶圆步进器中的佼佼者。它与先进的foucs-contain control (FEC)和快速的多通道迭加调整相结合,以实现高效的制造过程。晶圆步进器还拥有小尺寸、低功耗和坚固耐用的耐用性,并采用无烧结、模块化设计。NIKON NSR SF200进一步配备了图像识别系统,可一次又一次地重复精确。它在NIKON Synoptics Operating System上运行,并配有HPFocalOne等一系列可用软件。此易于使用的软件包允许在曝光期间对模式对齐和迭加进行主动监视、数据管理和分析。NIKON NSR SF 200是一种多用途、技术先进的晶圆步进器,旨在帮助简化半导体生产。它是高容量和低容量晶圆应用的理想解决方桉,每次都能提供卓越的质量和准确性。
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