二手 NIKON NSR TFH 2 #9205047 待售

NIKON NSR TFH2是一种最先进的晶圆步进器，旨在满足前沿半导体器件制造最苛刻的光刻要求。它提供极高分辨率、精确的舞台运动，亚波长对准精度为0.5nm。运动设备采用带有双级模块（X-Y和Z轴）的高端直线电动机，对放置运动进行精确控制。晶片级和曝光系统配备了顶级数据采集和定位组件，对晶片运动提供精细的分辨率控制。晶圆步进器由强大的可编程智能控制器驱动，提供与先进工业自动化系统的完全集成。利用强大的数据采集和融合技术,控制器可以轻松地从传感器、机器视觉、CNC控制、视觉系统甚至3 D扫描等各种来源提取数据,从而实现跨不同制造过程的单元级优化和集成。该控制机与高性能扫描白光干涉测量（SWLI）工具进一步集成，用于晶圆级的精确对准和定位。NSR TFH2的激光精密光束光学模块确保光刻工艺的亚波长分辨率，而其高端离子和电子光学模块则提供像素精确、高对比度的光刻。它支持多种光掩码类型，包括PSM、LCD、BD和DMDM产品。此外，光学发射器模块包括一个自适应光学校正资产，补偿光路像差。此外，该设备还具有一系列柔性光谱，在广泛的曝光波长范围内提供优异的性能。其通用的图像传感器阵列提供可靠的曝光控制和出色的图像质量控制。此外,NIKON NSR TFH 2还具有超高速数据接口,可实现更快的机器控制数据传输和操作,以及高带宽连接,从而实现更快的数据通信。这有助于减少完成每项工作所需的时间,并提高吞吐量。该机器还支持一系列模式-数据类型和格式,从而更易于管理和传输数据。总而言之，NSR TFH2是一种超精确、功能强大的晶圆步进器，能够以最高质量的光刻技术支持领先的半导体器件制造工艺。具有亚波长对准精度、晶圆运动精确控制、图像质量可靠等特点。其高端光学和数据通信能力进一步增加了其吸引力。