二手 NIKON NSR TFH 2 #9206223 待售

NIKON NSR TFH 2是一种晶圆步进器，设计用于在半导体生产中执行光刻工作。它使用了一个步进和重复的光刻设备，能够提供高精度的制造与进步inthroughput和可靠性。其紧凑的设计允许一个小的足迹与自动化轨道系统，允许晶圆级的运输和移动。TFH2能够处理尺寸达200毫米的基板，并具有可变数值孔径"NA"光学单元。这使得它能够提供卓越的成像分辨率，适合微观和纳米尺寸的制造。它包括利用具有高NA性能的浸入式液体透镜机、紫外线超高功率激光光源、高速光学运动进行扫描、平移、半场缝合，以提高吞吐量。TFH2配备了融合成像工具和精密的对准系统，以提供高度精确的模式放置。它还包括多重曝光和扫描重迭等功能，以防止缝合问题和从基板到基板的可重复焦平面调节。步进器具有高度的模式分辨率,非常适合内存设备、显示设备、高性能模拟和数字应用。此外,TFH 2还设计用于增强低维护,只需最小程度的手动调整和轻松调整。它还具有自动检查功能,以确保所有组件都正确对齐和校准,以及可定制的用户设置,以提高生产效率和效率。用户友好的维护和数据交换接口允许实时观察和控制资产组成部分。这些功能协同工作,提供业界领先的晶圆工艺性能。