二手 NIKON NSR TFH EX14C #9276258 待售

NIKON NSR TFH EX14C，是为高生产率而设计的最先进的深紫外线晶片步进器。NIKON NSR配备了高功率RI（反射指数）源（最高350W@248nm）, TFHEX14C在精巧和可重复性方面提供出色的平版印刷性能。NSR TFH EX14C配备了先进的4象限自动对准设备，确认晶圆的X-Y定位，并即时对准，以实现晶圆的高度精确对准。此外,完整的自动化系统有助于大幅减少人为错误,使NSR TFHEX14C能够快速曝光。NIKON NSR TFH EX14C在其焦平面安装了先进的成像系统,可补偿投影透镜的像差,并将衍射图像精度保持在3 µm ±。它具有7nm的分辨率和0.1µm的精确度，能够产生该装置的精细图桉。NIKON NSR TFHEX 14C的Reflex Source Unit通过将光源引导到具有适当光散度的晶片来提高图像曝光均匀性。Reflex Source Machine有着优越的特性，例如能够减少镜头对镜头的变化，也显着减少了布局聚类。先进的高NA光学元件比高NA光学元件将曝光时间从2倍减少到10倍,从而缩短了曝光时间。它提供了卓越的成像性能,景深提高了20%,并且改进了源聚焦能力,能够准确地再现散焦模式。NSR TFH EX14C的高级PCB（流程控制板）提高了曝光工具的吞吐量和通用性。它还包含一个直观且易于使用的图形用户界面,并具有用户友好的导航和管理功能,使操作员能够有效地监视和控制多个进程。最后,NSR TFHEX14C配备了质量源资产,它提供了出色的源电源管理能力,可以防止任何潜在的源电源问题。这将转化为高度稳定的曝光性能。NIKON NSR TFH EX14C是大体积曝光晶片光刻的理想晶片步进器.它旨在提供高生产率和卓越的平版印刷性能,同时大大减少人为错误。