二手 NIKON NSR TFH EX14C #9356069 待售

NIKON NSR TFH EX14C是晶圆步进器，一种用于微电子制造过程的半导体光刻工具。它被设计用来生产各种类型的微电路元件到特殊的晶片上。该EX14C采用独特的光学对准设备，结合了远心透镜和扫描对准系统。这种对准装置在将微小特征的图样放置到晶片上时提供了极好的准确性和可重复性。该EX14C能够产生精细到14 nm的特征,以及相关的多层结构。这是使用NIKON专有和透镜系统以及能够产生波长小至13nm的光的光源来完成的。通过利用最新的增强型照明光学器件，EX14C能够产生更复杂的图样和最高的图像保真度。步进器本身以坚固的机械设计为基础，具有坚固的桥状结构，使其具有出色的稳定性和刚性。这种刚度使得它即使在极高的分辨率下也能发挥作用，而不会像其他一些半导体光刻系统所常见的那样出现模式不对准的危险。EX 14C的移动阶段也极快而精确，让它们以更高的精度实现更高的吞吐量。此外，EX14C非常灵活，因为它能够容纳各种各样的晶圆。步进器还具有创新的晶圆处理机，既用户友好又可靠。这种方便用户的设计可以方便地装卸晶片，同时将污染和损坏保持在绝对最低限度。最后，NIKON NSR TFHEX14C是一种适用于半导体制造工艺的线形光刻工具。它结合了精密光学、坚固的机械设计和灵活的晶圆处理系统,使其成为高性能应用的理想选择。该EX14C具有高分辨率和快速的吞吐量速度，是在半导体晶片上生产微小特性的高效可靠工具。