二手 NIKON NSR TFH i12 #9197998 待售
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ID: 9197998
晶圆大小: 6"
优质的: 1998
Photolithography stepper, 6"
SEIKOSHA BP-4500 Computer controller
VIEWSONIC Flat screen monitor
Keyboard
Mouse
Control cabinet
Wafer loader: Type 2 left inline
Reticle loader: (13) Slots single library
Inline: Left type
Wafer loader:
WL-12 v2.30 13V4.50
OF-12 v2.30 B4V3.20
WR-12 v2.50
WLY-11 v1.30 10V2.11
Lens controller: 71V6.80
Main computer: NIKON NEST V
VAX Station: 4000.96
Tape driver: DAT40
Chamber type: SENDAI S19
Chamber temperature: 20.0
IATC Temperature: 20.1
LLTC Temperature: 20.32
Compressed air (at 50 liter/min flow): 3.1kg/cm2
Vacuum pressure (at 50 liter/min flow): -600mmhg
Process cooling water flow rate (at 20°C): 35 liter/min
LLTC Coolant flow rate:
Atmospheric pressure: 835.78 Hpa
Refrigerator pressure:
Set point:
High: 1.3~1.5 (actual 1.4)
Low: 0.35~0.55 (actual reading 0.38
1998 vintage.
NIKON NSR TFH i12是由NIKON开发的一种最先进的晶圆步进器，帮助指导半导体器件的制造。晶圆步进器设计用于半导体工业的高精度、高生产率的光刻应用。它结合了高分辨率、高吞吐量和与高纵横比光刻目标的兼容性，是各种设备制造工艺的理想选择。NIKON NSR-TFHI12有扫描和步骤和重复两种操作模式。在"扫描"模式下,将依次在晶片的表面上扫描包含阵列的标线。每次扫描时,图样都会暴露在晶片上。在"步骤"和"重复"模式下,单个图像在晶圆的许多部分上成像。然后将晶片在两次曝光之间移动，从而使连续的曝光都通过预定的放大倍率和基数与基数位移相关联。为了使性能最大化，NSR TFH i12配备了多种高级功能。晶圆自动加载系统是晶圆自动加载系统的一个关键特点，它旨在减少晶圆的失调和失灵。步进器还具有多种对齐选项,包括高精度、高精度阶段搜索、内联扫描或即时标线定位,以确保顶级精度和吞吐量。此外，还提供了自动对焦和散光校正，以达到最佳对焦和图像均匀性。NSR-TFHI 12的集成环境允许对每个晶片进行快速、准确的过程控制,并逐个特征。它能够使用多种曝光技术,如聚焦优化、高级缺陷审查和技术配方驱动的配方。步进器还包含数字显微镜，使操作员能够以高放大倍率和高分辨率检查每个标线的图样。最后,NIKON NSR TFH i 12专为实时生产而设计,满足了成本效益高但效率高的挑战。它还可以轻松集成到现有的生产环境中,从而节省时间并实现无缝生产。总而言之,NIKON NSR-TFHI12是经济高效的晶圆步进解决方桉的绝佳选择。
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