二手 NIKON NSR #293601737 待售

NIKON NSR是一款功能齐全的晶圆步进器，专为先进半导体加工的微米级光刻要求而设计。NSR是一种最先进的光刻设备,可提供高分辨率的成像、卓越的性能和灵活的操控性。该系统建立在由高分辨率、印记投影镜头、高精度直线电机定位级和高级精密伺服定位单元组成的先进架构之上。NIKON NSR晶片步进器利用多级成像光学机器,无论有何要求,都能在晶片上产生极其精确和明确的图像。刀具的分辨率为0.5nm，其精度也是巨大的，标准差为0.05微米。所有这些因素使得NSR成为最先进的半导体生产应用的理想选择。NIKON NSR的优化晶片配准通过高级计算引擎得到保证,该引擎可自动补偿在曝光过程中可能在掩模或晶片上发生的任何热膨胀。这确保了在纳米级上的卓越成像性能。NSR还支持多种用户友好的功能，如点击停止细焦点旋钮、软件控制的舞台控制、直接多放大能力、自动区域重迭对准、反射基板的自动对焦功能以及提高吞吐量的图像循环。这是一个针对大批量生产应用和要求高精度成像要求的完整解决方桉。NIKON NSR先进的电子跟踪资产提供了自动漂移控制，以补偿扫描阶段之间的小移动，确保了曝光结果的卓越重复性。此外,NSR可以快速高效地执行,最大扫描速度为8,000mm/秒。总体而言,NIKON NSR提供卓越的性能、卓越的成像质量以及可靠、可重复的结果。NSR具有令人印象深刻的一系列特性,是一款备受追捧的最先进的晶圆步进模型,非常适合最先进的光刻应用。