二手 NIKON NSR #293668735 待售

NIKON NSR是一种用于半导体制造过程的晶圆步进器。这个工具是由NIKON开发的光刻投影步进器，可以在薄甚至晶圆上精确地製造低至35 nm的小特徵。它具有优化的步进控制,并在稳定的平台上运行。此步进器提供出色的图桉迭加、图桉放置精度和可重复性。NSR具有集成的反射成像光学器件和宽广的数值孔径，提供高分辨率的图样，具有出色的吞吐量。此功能还允许以简单可靠的方式检测掩码缺陷。步进器提供高性能、长期稳定性和可调节的斑点大小,适合阵列元素的像素化。为确保性能和产量一致，NIKON NSR配备了自校准晶片级，可以精确测量照明器和晶片之间的距离。该设备还具有高效的电机控制系统，可在制造过程中精确定位晶圆。步进器还包含伺服校正单元，该单元能够在阵列操作过程中进行快速校正。此外，NSR还拥有一台具有精确加热器和恒温器控制的高性能温度控制机，可以精确控制晶圆温度在20至50 ˚C的范围内。此功能还减少了主点,并消除了阵列制作过程中的热漂移。此外,步进器利用SynchroScan工具技术在短时间内快速处理多个晶片。该资产还通过允许用户提前设置参数调整并快速调整晶圆尺寸，提供了出色的自动化支持。总体而言,NIKON NSR是一种高性能的光刻投影步进器,能够精确、快速地制造具有出色重复性和过程控制能力的图样微结构。该工具为制造极小的零件和晶片提供了经济高效和可靠的解决方桉。