二手 NIKON NSR #293819945 待售

NIKON NSR是一种先进的晶圆步进设备,能够高效生产集成电路.它是一个完整的模式生成系统，结合了一个标线，运动控制单元和一个全计算机控制的光学机器。利用0.25 NA投影光学器件和CCD相机,NSR能够实现芯片级生产,用于大量的IC生产。该刀具采用6自由度和1.5 μ米精度的吊杆式标线级。标线级的设计保证了整个生产过程的高精度和精确度。此外，其位置控制资产与环境控制模型相结合，确保了稳定的环境，并在生产周期中最大限度地降低了噪声水平。该设备还集成了NIKON调整方法（NAD），可确保光学系统的自动调整以及机器的机械平衡。这进一步确保了更高的图样成像精度。NIKON NSR还拥有NIKON Step-and-Repeat （NSR） Unit,可实现多种应用方桉,例如在一个成像周期中在一个晶圆上步进多个芯片。该机的光学器件配置有两个离轴、两个axicon、一个像差校正器和一个安全透镜。这种配置可通过广泛的工作距离确保卓越的成像性能。该工具还配备了一个连续的细胞光学资产，使高速模式成像与减少曝光时间和高生产率。NIKON NSR晶片步进器是为优化过程集成而设计的。它能够提供全自动生产周期,包括硬件模型检查和对准以及机械和光学调整。此外，设备还支持广泛的模式校正算法以及在生产过程中调整曝光设置的能力。总体而言,NSR晶片步进器能够实现高效的IC生产周期,并具有高度的准确性和生产率。其创新特性使其成为芯片级生产的理想选择，并继续在半导体行业提供卓越的性能和质量。