二手 NIKON NSR #293819949 待售

NIKON NSR是一种晶圆步进器，因其在满足各种光掩模和标线生产和维修要求方面的卓越性能而得到认可。该设备具有业界领先的高数值光圈（NA）镜头,可提高分辨率、对比度灵敏度和吞吐量。此外,NSR还配备了一个简单、用户友好的控制台,可直观操作,并提供各种字段大小和曝光设置,以完成几乎所有的标线应用程序。在典型的应用中,NIKON NSR使用4步扫描标线成像过程进行操作。这包括一个标线制定站、光学显微镜对准站、曝光站和曝光后检测站。准备站用于清洁、涂层、校准和检查标线。对准站包括一个镜片系统对标线进行成像，以及一个自动对准系统，用于查找最佳曝光场和位置。曝光站用于精确定位晶片并将其暴露在标线上，并采用动态聚焦控制，以获得最佳的均匀性。最后，使用曝光后检测站对曝光的晶片进行快速现场检测，以确认工艺质量。NSR晶片步进器还结合了各种曝光精度和可重复性技术，如独特的High-NA光学配置、调制聚焦深度（MOD）技术，以及三维（3D）配准，将表面积精度和横向特征迭加完美结合。MOD技术还可以提高分辨率和吞吐量性能。此外,NIKON NSR还提供了若干高级控制选项,包括因过程而变化的暴露剂量控制,以及基板ID自动识别。这些特性带来了卓越的生产级标线工艺,为从业人员提供了业界领先的精确度和准确性。NSR晶片步进器是半导体器件制造商的理想选择,它们需要更高的分辨率、改进的模式对比度以及在更大视野上更统一的模式。这样可以提高设备的产量和性能。所有组件在统一的系统中协同工作,提供卓越的性能、产量和生产效率。