二手 NIKON / NTS NSR-2150 #293650967 待售

NIKON/NTS NSR-2150是一种高精度晶片步进器，主要用于半导体晶片制造中的光刻工艺。它采用双曝光步进和重复原理，以μ米的1/2的覆盖精度提供低至0.3 μ米的分辨率。该机体积小巧但用途广泛，具有节电设计，包括高速0.275秒的标线交换设备和舞台加热器的"智能"加热器控制。NTS NSR-2150利用长寿命6 ″ F2.4光学系统和双目镜来确保一致性。该单元还允许手动聚焦，并且在436 nm的波长下具有1阶远心率的分辨率，达到1/2 μ m的覆盖精度和0.4 μ m的边缘检测精度。步进台的最大行程为300 × 300毫米，由数字控制的可移动台驱动，带有高精度的数字光学编码器和温度传感器。它还包括自动回家、舞台纠错和可调主轴。舞台的轴元件以对称配置设置,以确保精确且同时进行X/Y运动。NIKON NSR-2150设计用于处理复杂的模式曝光,采用多种算法,如旋转、镜像和非对称多逆扫描。此外，还提供了一些镜头校正和补偿功能来改善镜头曝光，如可变可编程特征校正和动态耀斑补偿。步进器还有一个面向图形的用户界面，这使得操作机器更加容易和直观。NSR-2150高度可靠，设计寿命1000万次，并按照国际性能和安全标准获得ISO认证。此外,步进器还有一个内置的事件日志,用于跟踪、存储和审阅过去的过程-同时保护数据完整性和产品质量。总之，NTS-2150是一个强大而精确的晶圆步进器，具有现代半导体晶圆制造所必需的特性和能力。它速度快、可靠且相对容易使用,因此能够更高效、更经济高效和更精确地制造集成电路。