二手 NIKON Opto 200 #9274315 待售
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NIKON Opto 200是一款最先进的晶圆步进器,旨在提高工艺控制和效率。这种设备设计用于1 X到5 X还原光刻,这使得它非常适合较小的晶圆成像。该机器可以容纳较小的字段以及用于各种应用的较大字段。Opto 200配备高分辨率垂直级,能够处理高达18毫米的晶圆厚度。这个垂直级为先进的晶圆处理提供了高速度和精确度。该系统还配备了大直径透镜和全自动晶片处理单元,有助于提高处理速度和精度。NIKON Opto 200由于其先进的对准和热控制子系统而非常精确。该机的制图精度约为0.2微米,制图质量优良,可重复性高。此外,此工具能够以高达每小时40个晶圆的高速阵列。此资产还提供了用户友好的图形界面,使用户能够实时控制计算机和查看图像。通过此界面,用户可以创建20多个要保存到模型中的进程。此外,可以快速编程相同大小或形状的重复过程。Opto 200使用6 x 6英寸的写字段大小、2轴网格和自对齐自动扫描,使其非常适合产生更小、更复杂的模式。该设备还采用了玻璃上的折射铬透镜,使其能够运行可重复的耐热透镜图样和可重复的透明光刻曝光。除了操作功能外,系统还提供了一个容纳多达99个晶圆的大容量墨盒。该单元还与多种化学物质兼容,允许使用光刻胶、溶剂和其他材料进行打印。总体而言,NIKON Opto 200对于那些希望在更短的处理周期内实现精确、可重复模式的人来说是一个特殊的晶圆步进器。由于其先进的对准和热控制子系统,这台机器具有很高的准确性和可重复性。此外,其用户友好的图形界面为控制和查看机器提供了一个完整、易于使用的平台。
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