二手 NIKON Opto 300 #9274316 待售
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NIKON Opto 300是一种晶圆步进器,专门设计用于提高半导体阵列应用中的生产率。它结合了关键的特点,以确保高性能的生产先进,高技术的设备结构,如高模式吞吐量和分辨率。Opto 300结合了NIKON专有的MOVGS(Multi-Operation Variable Grid Scan)技术,它在广泛的剂量和采样范围内产生高分辨率模式。它还具有集成的双任务(模式生成和对齐)、一任务(低剂量模式)晶圆处理能力。这提供了高性能的z浸泡和平滑功能。NIKON Opto 300还具有0的扩展模式能力。2至8毫米,全晶片曝光,并扩大X、Y、Z图样运动,以更快、更流畅的图样。它利用了NIKON先进的光学和成像系统,从而实现了高水平的不可扩展性和均匀性,而其自动模式和对齐算法进一步优化了产量。Opto 300利用了一系列高端阶段,包括高精度摆动阶段、大型表面扫描仪和预先对准的空气轴承,所有这些都能够实现高精度、大规模的模式曝光。NIKON Opto 300的自动晶圆处理和舞台运动系统确保平稳运行。通过NIKON高效聚焦控制系统减少了曝光时间,该系统保持每个晶片内所有模具的最佳聚焦。Opto 300包括一个交互式、直观的用户界面,可实现简单且无故障的模式创建。它还支持各种用于高级工艺分析和产量改进的检验过程,使其成为满足高精度阵列需求的完美解决方桉。NIKON Support Center的远程技术服务平台进一步补充了这一点,该平台为客户提供了定制技术支持的访问权限。最后,NIKON Opto 300晶片步进器是需要制作高精度图样和提高生产率的公司的理想解决方桉。它的高端阶段、先进的光学系统和成像系统实现了不可接受性和统一性,而其自动阵列和对齐算法则优化了产量。其直观的用户界面和远程技术支持进一步确保了客户从系统中获得最佳性能。
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