二手 NIKON P/N 4B991-151AN #148896 待售

NIKON P/N 4B991-151AN
ID: 148896
晶圆大小: 8"
EX14D LC bellows unit, no PL purge, 8".
NIKON P/N 4B991-151AN是为精密光刻应用而设计的晶圆步进器。其主要部件包括高度精确的运动设备、用于晶圆对准的电动晶片级以及用于成像的光学系统。这种晶片步进器能够以极高的精度产生极小且错综复杂的特性。NIKON P/N 4B991-151AN采用先进的晶体时钟技术,达到业界最高精度。这对于制作清晰清晰的图像至关重要。时钟精确到± 0.25纳秒,使其能够将曝光时间精确地分成极小的数值。曝光时间决定了要成像的特征模式的大小,因此精确控制曝光时间是实现最高分辨率的关键。晶片级也对图像精度起着重要作用。它用于在曝光前将晶片对齐所需的坐标。高分辨率电动机用于快速、精确地将晶片移动到所需的精确位置。这样可以确保阵列在正确的位置精确对齐和曝光。光学单元设计为提供尽可能高的性能。它利用先进的自动聚焦控制来确保最佳的聚焦和正确的成像。特别设计的镜头用来容纳不同类型的曝光,这样无论曝光时间如何,图像都是准确的。它还具有较高的数值孔径,以获得更好的曝光时间和较小的特征。最后,NIKON P/N 4B991-151AN提供了卓越的曝光精度和稳定性。它配备了高精度快门机,确保曝光时间精确一致。利用这种晶片步进器的许多特性,它能够以极高的精度产生极小、错综复杂的特性。这就是为什么NIKON P/N 4B991-151AN是精密光刻应用的绝佳选择。
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