二手 NIKON PL-2 #293657667 待售

NIKON PL-2是由NIKON开发的高度先进的光刻步进器，配备了前沿技术，用于尖端的微加工工艺设计和实施。由于其先进的设备配置，步进器可用于各种复杂的光刻工艺。PL-2专为精确成像而设计,具有双三重扫描运动系统和低像差光学等独特特性,可满足临界尺寸（CD）密封性公差的挑战性要求。Dual Triple Scan提供了一个两步扫描运动单元,用于精确定位电路模式,从而能够以一致的曝光质量创建多个独立设备。步进器还有一个直接成像投影机，能够使用高能脉冲光在硅片上放置光掩模图样。此功能使步进器能够产生设备设计所必需的高度详细的线条和空间模式。为了支持这种精细的结构，NIKON PL-2还提供了先进的300-kW高功率激光源。PL-2是为性能和精度而设计的。其电机工具和低噪声驱动设计实现了平稳的加速减速，实现了稳定准确的模式操作。此外，它的精确度、低热量产生轴承设计提供了更安静的操作，提高了精度，减少了因粒子发射造成的污染。NIKON PL-2还配备了高效的除尘资产。为防止敏感硅表面受到污染，它旨在有效捕获污染颗粒，并为用户提供卓越的污染控制。PL-2的高级处理器和软件使用户能够在不牺牲准确性或性能的情况下体验完全自动化的过程。步进器具有直观的用户友好界面,可将可用性扩展到更广泛的受众。NIKON PL-2是一种功能强大的晶圆步进器,具有先进的内部模型体系结构、高效的操作模式和卓越的性能。其精确、低粒子发射、低热轴承设计，可实现稳定、精确的图样操控。通过Dual Triple Scan运动设备和强大的激光源，用户可以通过紧凑的CD安装实现高分辨率电路。