二手 NIKON PL-2 #293659411 待售

NIKON PL-2晶片步进器是一种8英寸晶片对准步进器，用于将微电路打印到半导体晶片上。它为卓越的设备制造提供了最高水平的对准精度和无与伦比的图像质量。PL-2采用先进的光学工程技术来实现其高级成像,以各种背景颜色和级别提供聚焦和均匀照明的图像。其精密工程通过最小化步进操作过程中晶圆变质，确保了高通量过程。屡获殊荣的NIKON PL-2晶片步进器配备了双摆臂安装方法（DSAM），以提高对准精度和提高生产中的吞吐量。DSAM系统包括一个符合人体工程学的高架臂和一个精密工程的基级臂，具有可调关节。它结合了精确的三轴运动控制、高分辨率光学成像和晶片的自动对准，以进行高度精确的迭加对准操作。PL-2晶片步进器使用反射对准系统（RAS）进行快速、精确和易于操作的晶片对准。它有一个晶片内机器人进一步提高步进性能，以及一个直接驱动的机器人执行器在视场中移动晶片以进行全场扫描和对准。RAS还为双曝光提供了优异的效果,对于关键工艺层,可实现高达3 μ m的直接迭加精度±。NIKON PL-2晶圆步进器能够在细线成像应用中制造晶体管和电容器级器件。它支持高速和高精度作业,分辨率高达0.25 μ m,功能尺寸降至6 μ m。它还提供了广泛的曝光波长柱，从紫外线到长波红外，以适应不同的波长应用。PL-2晶片步进器通过屏幕上的过程控制功能提供高级监视功能,用户可以查看实时的过程状态和性能数据。该系统还通过一系列预防性维护程序提供长期维护和可靠性。此外，它的环境设计还具有一个无尘室和最小的占地面积，以便在狭窄的空间中有效使用。