二手 NIKON R2205HA #293664649 待售

NIKON R2205HA是晶圆步进器。它是利用F2激光器和同步扫描系统（SSS）技术的全场步进设备，提供卓越的成像控制和精度。这一单元设计用于光学光刻在半导体生产应用，如逻辑，内存和特别是细线器件。它提供了广泛的光学对准和聚焦功能,以确保所生产设备的最高保真度。R2205HA步进器使用双脚本扫描机来精确控制曝光过程。该工具旨在通过模式数据调制、定时和区域扫描的组合来精确控制曝光过程。这使步进器能够为每个正在生产的设备产生非常精确的聚焦、分辨率和覆盖参数。NIKON R2205HA的分辨率为25纳米,视野为5 "x 7"。它可以在一次曝光中对数百万个特征进行模式化，拍摄时间可高达0.075秒。它还具有极一致的暴露精度，低至十分之一纳米。步进器与硅片、玻璃板、石英基板等材料兼容。此外,R2205HA还具有先进的灵活增强高速扫描（FEHS）资产。该模型为设备提供了独特的受控激光源。这种减小的激光束大小和光斑大小转化为更高的传送速度，当涉及到暴露特征。NIKON R2205HA还具有多种软件功能。例如,它具有集成的数学精密工具（MPT）系统,用于即时计算和优化曝光参数。它还可以生成要存储和召回的曝光库,以便于处理。此步进器还具有许多精确的自动对齐功能,如边缘弯管头、对准变焦和散焦扫描。总体而言，R2205HA晶片步进器是一个精密的单元，能够产生卓越的图像保真度和准确性。其众多功能为用户提供了最大限度的光刻控制和精度。该机器设计用于任何需要最高水平的控制和精度的光刻应用。与多种材料兼容，是最先进半导体生产工艺的完美选择。