二手 NIKON R2205HDIS #293664652 待售
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NIKON R2205HDIS Wafer Stepper是一种适用于先进半导体器件加工的灵活可靠的光刻设备。其广泛的特性使得它适合各种应用,从批量生产到更精细的工艺,如MEMS和高纵横比。它以经过NIKON验证的i-line优化光学技术为基础,结合了卓越的迭加精度、分辨率和层对齐方式,使产品产量更高。R2205HDIS晶片步进器能够在包括晶片、掩模和其他硅部件在内的各种基板上产生高质量的结果。凭借其广泛的系列特性,它能够处理8英寸、12英寸和200毫米晶圆。步进器包括高精度级,使用可编程扫描晶格在曝光期间定位一定范围的水平和大小。步进器的石英玻璃光学器件设计,以提供卓越的图像均匀性和分辨率与高焦深。此外,NIKON R2205HDIS还配备了预对准器、喷嘴更换器和MOVIDRIVE,可用于多功能生产。该系统具有许多增强性能的附加功能,例如改进的光学单元、更高的可重复性激光对准设置和对焦校正。它还能够执行多种功能,包括蒙版制作、标线对准、激光烧蚀和曝光。采用全自动设置,操作效率极高,用户友好。该机还配备了自动对准工具和自动晶圆交换,以最大限度地提高产量。其成像结果的精确度通过集成尼康专有软件得到进一步提高,该软件允许用户微调成像参数,以确保最佳分辨率和均匀性。该资产还配备了自动对焦功能,允许镜头在没有人为干预的情况下调整到任何晶圆的焦点。总体而言,R2205HDIS Wafer Stepper是一个高性能模型,具有丰富的功能,可产生出色的效果。它的一系列功能使其成为批量生产、精细工艺和许多其他应用程序的理想选择。
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