二手 NIKON R2205HMF #293664653 待售

NIKON R2205HMF是为先进的光刻应用而设计的高性能晶圆步进设备。该系统包括先进的光刻控制器、智能扫描对准器、4轴级和先进的扫描曝光单元。它能够提供高通量、高对比度和高分辨率的结果，在包括晶圆、降解面膜和有机膜在内的各种基板上都具有精细和超精细的特性。先进的光刻控制器提供了可重复、精确的曝光控制，并且可以在单个晶片上重构多种模式，使其成为大面积设备的理想选择。它支持从每个晶圆的多个站点对特征进行高精度、无损的缝合。智能扫描对齐器可以针对自动对齐过程中的边移错误进行调整,即使具有极端的特征,也能实现可重复曝光精度。它具有在一个操作中处理多个晶片的宏级缝合的能力。4轴级设计采用超低力平行反应方法提供快速、精确的运动控制。它对大型基板（如整个晶片）进行精确定位。先进的扫描曝光机使用激光扫描的激发，具有图桉化的视野和一系列的标线尺寸。它能够在完全分辨率下以一次曝光的方式曝光单个晶片。R2205HMF晶片步进器是为各种基材的精密和快速生产而设计的。它为大型到超大型区域的超精细特性提供高吞吐量、高对比度和高分辨率的效果。其强大的功能使其成为先进光刻应用的绝佳选择。