二手 NIKON S202 #293825804 待售

NIKON S202
製造商
NIKON
模型
S202
ID: 293825804
Scanner Renesas upside: +8K/m tool DUV (Non-Critical, 4X Scanner, KrF) Host station.
NIKON S202是由先进成像和精密设备的领先制造商NIKON Corporation开发的晶圆步进器。它设计用于半导体制造过程,如光刻,用于制造集成电路(IC)。步进器具有6场光学设备,具有多种光学元件,允许从不同角度进行多次曝光,从而实现了可重复的模式精度。照明系统包括6位变焦镜头,提供0.75至8.0毫米的曝光场大小,曝光时间可选择3至10秒。此外,它还配备了一个自动对准装置,具有高度精确的分级装置,以优化晶圆和掩模的对准。S202还具有用户友好的操作面板,并配有彩色液晶显示器,可提供出色的可见性。步进器配备了环境感应器,如温度检测和少量气流感应器,以提供稳定的操作环境。这台机器还有一个自动校准和监控工具,提供了一个快速和精确的精细调整光场对准随时与最大的精度。数据传输通过千兆位以太网和USB连接完成,以便于与外部数据系统集成。步进器还具有一种特殊的特性,称为输出缺陷传感器,它可以检测抗蚀剂表面上是否存在颗粒、异物或其他缺陷。此外,NIKON S202具有内置冷却资产,可显着减少曝光运行时间和功耗,从而控制曝光过程中产生的高温。步进器也是轻量级的,其紧凑的设计允许小型晶圆对齐,非常适合原型设计应用。步进器还配备了提供数据管理的软件,并且在触摸板上有一个遥控器,便于操作和方便。此外,它还具有工作记忆存储和自动面膜板交换功能,以提高生产效率.总而言之,S202是设计精良的晶圆步进器,具有多种特性,非常适合用于光刻工艺。它非常精确、高效、用户友好,是各种IC制造操作的绝佳选择。
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