二手 NIKON S202 #293825805 待售

NIKON S202是一种晶圆步进器,设计用于精确打印、图样和检查半导体掩模。即使在高吞吐量下,它也能够显示高分辨率、准确性、均匀性和线缘质量。S202具有双4度扫描仪和提供高速扫描的150毫米步进器。这样可以实现快速晶圆吞吐量和卓越的线路和边缘质量。步进器设有三个阶段的运动控制，包括支持平移、扫描和倾斜范围为+/-2度的旋转功能的主阶段。NIKON S202能够打印和检查晶片，晶片的直径可达200毫米，石英层薄至0.2微米。步进器有12个固定磁场、高精度的镜片，用于面罩印刷和检查，以及两种不同的检测模式，用于精确的几何缺陷测量。S202具有针对Quartz CD和Metal CD层的自动对准系统。它还对放置和对齐有各种限制，允许自动CD测量和缺陷检测。步进器还有一个先进的洁净室管理系统，有助于保持空气清洁和颗粒控制，提供卓越水平的环境质量控制。NIKON S202是一种通用的晶圆步进器。S202具有多重分辨率的能力，同时还有一个遮罩-衍射发生器和一个衍射光栅系统，可以打印高精度的图样。即使在最小的生产水平上，它也能显示出优秀的线缘质量和条纹。尼康S202是高容量半导体制造的理想选择。步进器具有出色的工作温度稳定性、多重对准和分辨率能力以及优越的线缘质量，可实现最大的性能和更高的质量。S202具有卓越的速度、质量和分辨率能力,是晶圆步进器的理想选择。