二手 NIKON S203 #293814738 待售
网址复制成功!
单击可缩放
NIKON S203是一种先进的晶圆步进器,旨在处理广泛的半导体制造过程。设计用于处理薄膜沉积、离子注入、蚀刻等过程。S203提供了广阔的视野,激光对准,和高可重复性。NIKON S203具有先进的设计,由于采用了三编织光学系统,因此具有广阔的视野。该系统具有大视野,最多可同时容纳四个4英寸晶圆。此外,S203还有一个激光对准系统,可自动调整级,以确保晶片表面的公差很紧。NIKON S203在平台上放置晶圆具有0.3um的高可重复性等级。即使经过多次操作也能保持这种准确性。平台还提供了较大的漂移场和快速沉降时间,包括在沉降过程中由伺服电机引起的较低振动。这样可以确保更高的吞吐量一致性和更好的操作重复性。S203具有晶圆识别的CCD,可提高操作效率和吞吐量。它还有一个可容纳多达200个晶圆的大型晶圆盒。这允许晶片同时加载和卸载,同时允许步进器在没有用户干预的情况下工作。此外,NIKON S203还具有一个大型卡盘池,最多可容纳20个卡盘。这样可以在不同的卡盘之间精确放置卡盘和对齐图像,从而确保准确和一致的阵列处理结果。最后,S203配备了高级控制系统和安全功能,旨在保护步进器免受未经授权的访问。NIKON S203还具有灵活的软件界面,可以集成到现有的生产系统中。总体而言,S203是一种高度先进和可靠的晶圆步进器,适用于各种半导体制造操作。
还没有评论