二手 NIKON S204B #293823357 待售

NIKON S204B
製造商
NIKON
模型
S204B
ID: 293823357
DUV Scanners.
NIKON S204B是晶圆步进器,一种用于生产集成电路的半导体光刻工具。这款光刻工具由尼康公司于1988年开发,集成了光学和机电元件,在半导体制造环境中打造集成电路掩模。步进器的主要目的是将光掩模的图样精确地暴露在光敏晶片上,这一过程对于芯片制造至关重要。NIKON S 204 B使用紫外线作为其曝光源,并配备了高效、精确的半导体制造的特殊特性。配备了数值还原透镜,可以将300 mm晶片的微小图样投射到10倍的最大还原比,使其成为当时最有能力的晶片步进器之一。此工具的光源可以调整,以便在任何给定时刻为各种电路设计定制其在整个晶片上的光照。此外,S204B还配备了一个高精度的浮动级,该浮动级使晶片在步进器的曝光区域内移动,以实现高精度的对准,从而优化设备制造。Optics Block Assembly中的是Exposure Optics子系统,它包含内置的照明系统,包括透镜、镜子和石英滤镜。S 204 B的光学子系统使其能够产生超精确的模式,而其先进的镜像精简机制提供的吞吐量明显高于大型步进器。在操作方面,NIKON S204B由一个复杂但易于使用的基于微处理器的操作系统供电。这种先进的操作系统允许将外围设备检查功能集成到自主光刻过程中。NIKON S 204 B被定位为全球半导体制造商所使用的经济高效、节省空间的光刻工具。它以其可靠性、低拥有成本以及能够制作出极其精细的复杂电路模式而闻名。在生产环境中,S204B每小时最多可生产10个晶圆,最大分辨率高达10nm。由于其精度高、维护少、运行成本低,是中型芯片生产线的理想选择。
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