二手 NIKON S204B #293824311 待售
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NIKON S204B是一种晶圆步进器,用于制造半导体器件。它能够通过紫外线在其前表面暴露一个带有数组光掩模的单个晶片。它配备了先进的光学设备,可对高达0.6 μ m的线路和空间的电路图样进行高分辨率成像,非常适合进行掩模制作和设备制造。NIKON S 204 B配备了先进的激光Aligner,允许快速、受控和精确的对准。激光对齐器允许用户在曝光步骤中输入一系列坐标,将光掩模精确瞄准晶圆。此外,精细的控制、扭矩和速度控制能力都有助于实现可靠、可重复的过程。S204B配备了两种图样成像系统-单光束和双光束。Single BEAM系统由两个UV光源组成,每个光源都有自己的图样投影单元,允许用户独立调整投影到晶圆上的图样位置。Dual BEAM机器由四个光源组成,允许用户同时将两个图样投射到晶片上。S 204 B还有一个软件对齐器,它允许用户以交互方式调整晶圆上的模式放置,以满足每个应用程序的要求。软件对齐器允许在微观环境中进行虚拟对齐,并允许操作员微调投影到晶圆上的模式的位置。Software Aligner还为用户提供了各种各样的模拟和优化工具,使对齐过程快速高效。NIKON S204B配备了先进的晶圆处理工具,确保晶圆在整个曝光过程中的安全准确运输。资产配备了双级机械臂,可以精确装卸晶圆。此外,一旦第一次曝光完成,内置模型就会自动使晶圆旋转180度。NIKON S 204 B是一个综合性的晶圆步进设备,为高端半导体器件的成功制造提供了一切必要。它配备了先进的光学和图样放置系统,可对高达0.6 μ m的线路和空间的电路图样进行高精度成像,以及可靠的晶圆处理系统,以安全准确地运输晶圆。
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