二手 NIKON S204B #9190274 待售

NIKON S204B是半导体器件制造光刻工艺中使用的全自动步骤和重复晶片步进器。为5轴配置，曝光面积为1x1mm至4x4mm。NIKON S 204 B包括一个功能齐全的软硬件平台，使光学成像过程自动化。它使用卤素灯和一个封闭的光室来产生高达300纳米的光，用于光刻。这样可以在任何步长上实现更高分辨率的成像,并提高成品芯片的精度。步进器的三重重复精度为2微米，这要归功于它的机械和光学元件。步进器结合了高性能的1倍还原光学系统和1.2NA透镜，以便在晶圆上进行更明亮、更清晰的成像。它配备了多种标线，从标准到先进的定制晶片分析。为了优化成像过程,S204B还包括对准和校准功能。其独特的对准系统包括检测晶片边缘以减少曝光面积误差的自动对焦，以及精确定位每一个芯片的自动定位器。此外，它还配有晶圆平整度检测工具，以确保晶圆在成像发生之前是均匀的。S 204 B以其流线型、强健的成像技术满足了现代半导体行业的需求。直观的用户界面允许无缝的过程自动化,精确的成像功能确保了无与伦比的工作效率。该模型非常适合工艺开发和生产水平的生产，使其成为半导体光刻最可靠、最具成本效益的解决方桉之一。