二手 NIKON S205 #293667241 待售

NIKON S205是一种用于半导体芯片制造的精密步进器。它是一种大型装置，尺寸为2550mm x 2800mm x 2800mm，重量超过4,000kg。它旨在为复杂芯片提供高度精确的阵列,并提供极其精细的细节。NIKON S 205配备了包含200毫米投影镜头和两个单独控制的电容耦合掩模级的扫描头。这使用户能够快速准确地对芯片进行制图，使用高分辨率的蓝光照明和相移面罩。S205可以处理65nm到250 nm的芯片特征和缺陷修复,并且能够处理各种光刻胶和基板。它包含一个自动化的光学对准系统，在每次曝光前精确定位掩模和晶片相对。S 205还配备了一套芯片处理工艺，减少污染，提高产量。它有一个自动化的污染预防系统和晶圆处理机器人臂，以减少手动处理。它还具有自动晶圆平面度和地形测量功能,以确保设备性能最佳。NIKON S205还纳入了一个环境监测系统，以确保所有工艺条件保持在预先确定的限度内。这保证了统一的结果,并最大程度地降低了设备故障的风险。总体而言,NIKON S 205是一款用途广泛的晶片步进器,能够以高精度和高精度处理各种芯片。包括掩模和晶片对准、自动防止污染和环境监测等各种功能,可确保指导原则和芯片的高精度生产。