二手 NIKON S62 #9169706 待售

NIKON S62 Wafer Stepper是一种精密成像和光刻设备，用于在半导体材料上创建和复制微结构表面。它是一种高分辨率机器，能够在各种晶圆材料上生产精密表面，精确度低于2nm。该系统具有双重对准和成像功能,将高级相移与严格的2D成像相结合,以满足高质量的成像和光刻需要。内置对准单元允许快速对准和标线放置,精度高达10nm,而成像机提供可变数值孔径以优化成像质量和性能。S62使用2.3马赫直写激光工具来协助光刻过程。该资产包含两个激光，可以统一使用或单独使用，视需要而定。该模型可重复定位精度为200 nm，空间分辨率为0.5 μ m，可实现精确的光刻操作。该设备还包含一个内置的数据采集和控制系统，可实时监测光刻过程，同时还有一个数据管理单元，用于存储原始图像和光刻数据。NIKON S62还提供了全自动设计到晶片的工作流,有助于简化晶片步进编程并降低与加工复杂阵列相关的成本。尼康S62是一个高质量的成像和光刻机器，提供精确的表面理想的半导体应用。该工具结合了双对准和成像功能、激光资产、数据采集和控制模型以及自动设计到晶片的工作流,使其成为晶片步进技术领域的强大机器。