二手 NIKON S620D #293670592 待售

NIKON S620D设备是一种用于光刻的先进晶圆步进器，设计用于在微观尺度上创建集成设备和电路。它非常适合于高精度和高通量光刻，并且常用于半导体、光学器件、MEMS和LCD等技术领域的器件和产品的制造。S620D系统直接曝光的最大分辨率为0.1micron,间接曝光的最大分辨率为1微米。它具有高级和低级照明技术,以及传统的步进/扫描仪硬件。图像字段为8英寸或12英寸,可使用步进重复功能处理更大的字段。该单元包括一个可调剂量和散焦控制和自动暴露监测。NIKON S620D还包括一个先进的自动对准功能，在处理过程中自动补偿晶圆的位移。S620D具有优化的三维映射功能,适用于必须按单个序列映射多个层的应用程序。这台机器使用高对比度抗蚀剂,旨在最大程度地减少对准误差.NIKON S620D生成的图像质量始终很高,导致拒绝次数减少,结果准确。当使用S620D时，曝光级空气轴承使晶片在舞台上的运动非常精确和顺畅。由于其低功耗和低维护要求,该工具易于集成到晶圆制造环境中。NIKON S620D也是一项环保资产，这要归功于其减少的溶剂废弃物和用于建造的可回收材料。S620D与各种软件包的兼容性进一步增强。该软件提供手动和自动化编程；可以根据每个应用程序的特定要求定制参数。这种种类繁多的软件选项使得这种步进对于那些参与光刻的人来说是一种极为通用的工具。总体而言，NIKON S620D晶片步进器以合理的价格提供了一个非常可靠和准确的光刻模型。其多种特性、低功耗、环境友好性以及广泛的兼容软件包，使其成为光刻领域的最佳选择。