二手 NIKON SF 130 #293814189 待售
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ID: 293814189
晶圆大小: 12"
优质的: 2004
i-Line stepper, 12"
Loader chamber
Control rack
Temperature controller
Piezo
Slider
Power supply
Lamp house rack
Lamp cooling
Back side frame
Top chamber
Upper frame
Loader rail
Foup
Control panel
SEMES KSPIN12 Load module
HP DS10 Workstation
SR10MP 4IL2 Lens
HBO 5004 Laser
Process modules:
Light source
Alignment
Stage
No Framework (FW) Robot
No Reinforcement Learning (RL) Index robot
No Reinforcement Learning (RL) controller
No Reinforcement Learning (RL) Buffer robot
No Reinforcement Learning (RL) controller
No Blind YD
No XL-axis unit
No Morocco board
No R-Θ Robot
No Robot controller
No RL PRE1 Z-Axis motor
No RL PRE1 PRC Motor
No IU-DRV10M
2004 vintage.
NIKON SF 130是一种晶圆步进器，经过设计以满足半导体光刻市场的需求。它是一种先进、高精度的生产工具，广泛应用于集成电路的制造。该机提供了广泛的应用，包括光刻、介电层图样和纳米打印。NIKON SF130配备了高分辨率的扫描级和自由形状的投影透镜，允许以高达180 nm的分辨率对晶圆表面进行精确的图样化。它具有多场成像系统，允许一次扫描/曝光晶圆上的两个或三个独立场。再者，多个晶片堆栈可以一次从步进器装卸，大大提高晶片处理的吞吐量。SF 130能够产生复杂的模式以及低失真接触和复杂的特征。它能够单次处理晶片，提供优于传统晶片扫描工具的性能和覆盖范围。SF130强大的图像处理能力也使其适合于微图案的应用。NIKON SF 130的设计考虑到了用户友好性,它提供了直观的图形用户界面和大量用于处理设置的工具。它还具有一系列图像处理EDU，每一个都配备了高度专业化的算法，以及一个强大的实时控制系统，以保证制图过程的准确性。NIKON SF130由耐用材料构成，并配有工业级部件，使其高度可靠，能够在恶劣条件下工作。所有NIKON SF 130都经过严格的测试和质量保证，以确保产品的可靠性和坚固性。SF 130在半导体工业中有广泛的应用，是一种可靠高效的生产工具。它提供了出色的阵列能力、高精度和可靠的生产,使其成为许多应用程序的首选。
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