二手 NIKON SF 130 #293829385 待售

NIKON SF 130是用于制造半导体器件结构的晶圆步进器。它是一种先进的设备成像设备,能够执行各种成像任务。此晶片步进器提供卓越的系统性能、高吞吐量和正常运行时间。它旨在推出下一代半导体器件制造。NIKON SF130配备了自由形式的浸入式光学单元,与其他常规滚子系统相比,它具有卓越的成像能力和更高的景深,可改进成像。更大的景深也有助于减少重影和散光，同时提高精度和精确度。该机配备了先进的快速曝光夹紧工具，提高了运行速度。它还设计方便维护，配有预先匹配的镜头组件和集成的镜头清洗资产。SF 130采用高级专有的基于视觉的对齐模式。该设备提供快速对齐更新，可以分析多个图像，以确保掩码对齐并准确定位在晶片上。对准系统还可以连续监控晶圆位置,并且在发生移位时可以自动校正。这样可以减少错误并提高工作效率。SF130由基于主机的软件单元控制。该机集成了所有工具功能，包括用户界面、诊断、测量、成像、模拟、数据收集和资产控制。它提供了直观的图形用户设计,并针对高吞吐量和精确的结果进行了优化。该型号由高性能模式发电机和高速光束柱供电，使其能够以高达每小时500晶圆的速度运行。它以低噪声和低振动水平运行,确保了稳定的工艺环境。该设备还具有优越的FOUP到FOUP容量,使其能够一次处理多达1,000个晶圆。总体而言,NIKON SF 130是一款先进的晶圆步进器,可提供卓越的系统性能、高吞吐量和正常运行时间。它以其优越的基于视觉的对准单元、高速光束柱和先进的专有基于视觉的对准机器，为下一代半导体器件制造提供便利。