二手 NIKON SF100 #293621279 待售

NIKON SF100是NIKON Corporation为半导体制造制造的多级步进器，允许晶圆的非接触式光刻。这种晶圆步进器设计用于高精度制造过程，针对亚65纳米和45纳米节点的制造进行了优化。NIKON SF-100具有双级光学设备,具有一个大的127毫米（mm）图像平面,可实现高精度和最小化投影到晶圆上的图像像差。该系统还具有原始斜向照明光源和NIKON高级像差控制光学器件,可以校正光刻过程中发生的低阶像差。这样,不仅从标准的全场成像过程,而且在包含全调制操作点的中心重迭场上,都可以实现精确、精确对准的65 nm以下成像。SF 100使用NIKON ESC（曝露步进控制）机制来确保精确曝光,具有多个协调和受控的阶段运动和反步等特征,以及通过连续监控的动态定心对准快速准确的模式对准。此单元具有高达4帧/秒的最大捕获速率,具有无限的重新调整大小功能,允许精确的曝光控制,以便在进入下一个结构之前一次创建设备结构。此外,该机器还具有内置视觉工具,能够检测现场中心、批处理模式操作和图像格式切换,使其成为各种生产作业的灵活工具。NIKON SF 100还具有多项安全保护功能，防止对其制造的步进器或晶片造成损坏，如其晶片级的防撞，以及全方位的快门互锁。此外,该资产还提供了一个用户友好的界面,并具有多种有用的功能,例如简单、直观的触摸面板,它允许快速、方便地操作,以及易于理解的图标,以简化操作。SF-100是高精度制造先进晶圆器件的理想选择，具有独特的精度、精确度和灵活性。凭借其先进的功能和可靠的设计,SF100是当前和未来尖端生产过程的理想选择。