二手 NIKON SF100 #9260320 待售

NIKON SF100是用于半导体制造过程中创建集成电路芯片的晶圆步进器。该设备由尼康公司制造，能够成像分辨率超过0.3微米的晶片。它具有自动对焦（AF）和激光辅助对焦（LAF）的能力，可以快速和精确地捕捉晶片的图像。NIKON SF-100采用先进的光学器件来确保精度。高端光学包括一个四镜头单元和一个5英寸镜头，可以检测最小平面差异，提供更高精度的自动对焦机构。它有两组光学器件，以减少扭曲光束的像差，导致更清晰的图像和优越的图样。SF 100还具有高端级系统,包括XYZ级和轨道级。XYZ级用于晶片的高精度对准，而导轨级可以移动晶片以确保检测到皱纹。舞台系统的组合也允许低振动，导致更高的成像精度。SF100提供了广泛的曝光源，包括i-Line和KrF激光源。i-Line源适用于高分辨率成像，而KrF源提供更高的吞吐量。这两个源在曝光时间上都有很大的变化，在成像过程中导致更精细的分辨率。此外，这种装置与大多数光刻胶片兼容，允许用户根据自己的要求选择最佳胶片。最后，NIKON SF 100还具有高度先进的控制系统，允许用户按照自己的规格对设备进行编程，以执行复杂的成像任务。该设备还可以与NIKON SMIF系统集成，使用户能够识别他们的程序并允许他们在晶圆上进行布局。通过所有这些功能,SF-100能够以极高的精度提供高质量的图像。