二手 NIKON SF155 #293668105 待售

NIKON SF155是一种高度精确、高效和可靠的晶圆步进器。它是一系列需要精确一致处理的半导体制造商的完美选择。NIKON SF-155采用了多种先进技术来实现自动化操作,同时仍允许用户保持对生产过程的高度控制。SF155具有卓越的曝光精度和可重复性,最大分辨率为1.00 μ m,同时多轴扫描速度高达400mm/s。此外,它的对准精度为1.0um ±,能够存储多达128个拍摄程序。高度先进的扫描仪系统能够精确的线性和旋转扫描，使得它在时间和资源方面都是高效的。SF-155还具有集成的三轴自动对焦系统,该系统在曝光过程中不断调整焦点,确保晶圆的每一层都处于完美聚焦状态。此外，尼康SF155通过提供先进的自助服务能力，减少了人工干预的次数。这些措施包括实时监测和控制、统计过程控制和公差范围管理。NIKON SF-155能够产生高质量的图像，具有出色的直率和圆度。设备的高级优化功能进一步减少了暴露误差,产生了更高的产量和更少的标线。SF155还采用了i-line DUV、KrF、ArF和Hg He-Xe等光源提供各种打印选项，使步进器能够满足多次光刻工艺的具体要求。SF-155是最先进、最可靠的晶圆步进器之一。其先进的技术和高效的性能使其成为高端精密半导体生产的理想解决方桉。