二手 NIKON SF155 #9309623 待售

NIKON SF155
製造商
NIKON
模型
SF155
ID: 9309623
Lithography system.
NIKON SF155是一种晶圆步进器,旨在为各种高级应用程序提供一整套精确的光刻处理功能。NIKON SF-155采用集成、紧凑的设计,提供卓越的性能和最大的集成能力。此外,设备先进的光学和控制能力确保光刻工艺的每一步都能精确执行,以达到最佳效果。SF155的一个主要特点是先进的光学。系统使用高度先进的晶圆步进器单元(WSS)来精确控制步进器的成像表面。WSS确保对所有成像参数进行最佳调整,以确保生成最佳图像。此外,SF-155还配备了一台PatCam光学元件机,用于在光刻过程中精确测量晶圆每一层的特性。NIKON SF155还提供了一个集成的、灵活的自动化工作流工具。这一资产确保了光刻工艺的每一步都能快速高效地完成。可以设置自动工作流模型以适应任何流程或应用程序,从而确保只完成所需的步骤,从而提高吞吐量并减少浪费。NIKON SF-155的双线性级设计也确保覆盖精度保持在最低水平。这种设计确保所有的阶段都在同一个方向上移动,在一个阶段中最大限度地减少运动,使晶圆上的成像表面显得对齐。此外,设备的双线性级设计能以非常高效的方式在x和y轴上移动。SF155专为要求苛刻的光刻应用而设计,其特点使其成为先进工艺的理想系统。该单元的高级成像功能、集成的自动化工作流机和坚固的舞台设计协同工作,以确保光刻过程的每个步骤都能精确高效地执行。这确保了尽可能最好的图像能够高效地产生并且浪费最少。
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