二手 NIKON / TEL / TOKYO ELECTRON NSR 1755 G7A #9299967 待售

NIKON/TEL/TOKYO ELECTRON NSR 1755 G7A是一种深紫外线（DUV）步进器，用于半导体制造过程。其300 mm步进平台在晶圆阵列加工过程中具有高吞吐量和优异的均匀性,并具有高精度和高分辨率,可用于制造前沿、超细特性。该机器能够在单个晶片上制作多达24层密集电路的图样。TEL NSR 1755 G7A能够在248 nm的波长下运行,并且具有高达21 × 24 mm2的大磁场大小。整个区域的场均匀性令人印象深刻，在执行器级别达到0.3%或更高。这会在机器上运行的任何阵列处理过程中产生极高的覆盖精度。该G7A有一个分层映射的步骤和重复系统，可确保在晶片上放置模具时精确对准。它还具有内置的光学失真补偿器,可最大程度地减少曝光期间的边缘失真,以及用于连续性能优化的本地聚焦监视器。步进器配备了三个计量系统，使其能够快速检测关键维度（CD）值并补偿潜在误差。该G7A非常可靠,不需要大量维护。它的平均故障间隔时间（MTBF）为13,800小时，较早期型号为10,500小时，24小时可处理450个晶圆。它还在摄氏10至28度的温度下运行平稳，相对湿度为60%或更低。结合其高精度和均匀性,NIKON NSR 1755 G7A是生产下一代关键阵列应用的理想选择。其吞吐量快、分辨率高、性能可靠，是半导体制造商的绝佳选择。