二手 NIKON UGRMEM-01SNQ12 UTOPI-100MX #293668732 待售
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NIKON UGRMEM-01SNQ12 UTOPI-100MX Wafer Stepper是一种用于芯片制造和光刻制造的设备。该步进器由尼康公司制造,能够将高分辨率图像精确投影到硅晶片上,帮助基板进行加工。这种步进器利用晶片级,由防反射膜、不锈钢底座和空气承载设备组成。这个晶片级允许精确的运动和精确的对准,这是晶片加工的基本要求。用这个晶片步进器实作的光刻过程以电子生成的图样开始,通常由cad档桉组成,然后用来产生一系列镜子和光学透镜的光。光被投射到硅片上,然后由化学物质的溷合物处理,形成图桉或标志。此设置使UV光能够以高精度和及时的方式投射到基板上,从而可以进行多次图像放置。UGRMEM-01SNQ12 UTOPI-100MX晶圆步进器还包含一个自动模式匹配系统(APMS)。此单元的设计目的是通过电子方式识别晶片图样并使其与所需的基板布局精确对齐,从而确保正确放置所有图像。APMS机器还允许用户调整图像的大小和比例。为了进一步确保晶片加工过程的精确度和精确度,该步进器包括一个子像素尺寸测量和一个控制技术,该技术将自动检测任何未对准情况并对光投影进行调整。该步进器还包括一个优化功能,可确保最终产品满足最佳晶圆质量要求。此优化功能包括自动曝光时间控制、自动加权偏移测量、均匀曝光和均匀抗蚀剂轮廓。所有这些特性都旨在最大限度地提高晶片元件的质量和一致性。为确保NIKON UGRMEM-01SNQ12 UTOPI-100MX始终保持准确,应定期对其进行维护。为此,制造商提供了关于如何正确维护和操作工具的详细手册。本手册包括有关如何维护晶片级、空气轴承资产和光刻工艺的简要说明。UGRMEM-01SNQ12 UTOPI-100MX晶片步进器自制造以来,已成为芯片制造和光刻生产的重要工具,并以其精确、可重复的图样放置方式而闻名。通过结合APMS模型和优化功能,用户可以确信此步进器能够在每次使用时提供尽可能高的结果。
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