二手 OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC #9180829 待售

OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC是一种用于高精度光刻应用的高度先进的晶圆步进器。它旨在在一系列紫外线暴露应用中提供优异的效果。它是一种自动化的基于机器的步进器，具有最先进的用户控制逻辑系统。NIL-60-SS-UV-VC由装有机器组件的主体外壳和集成触摸屏接口组成。它包括一个电动步进器，一种控制两个元件相对位置的机械装置。它专为精确、可重复的性能而设计，具有控制速度、方向和步数的能力，以达到最佳效果。步进器可以与应用程序匹配，确定所需的速度、加速度、线性、反冲和精度。进行曝光的晶片放置在闭环控制的台式平台上，确保精确的位置控制和稳定的运动控制。该平台有一个手动晶片锁，以及一个力反馈机制，以更好的精度。该表还设计用于小型和普通晶片加载。曝光激光器安装在OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC上，而如果需要，可以添加额外的激光源。NIL-60-SS-UV-VC还具有多种安全功能，包括紧急停止按钮和门互锁、紫外线幕、激光毛毯、隔振系统、循环水冷和电离器。它还具有低温控制、可调光源、用于检测舞台上异物的传感器以及可听和可视警报。OBDUCAT NIL-60-SS-UV-VC与OBDUCAT TAIM软件兼容,允许远程操作机器。它能够在发生警报或任何其他故障时关闭自身。TAIM软件还能够存储数据,以及用于故障排除、数据记录和实时分析的远程监视。NIL-60-SS-UV-VC可用于执行广泛的光刻应用,包括紫外线、深层紫外线、DUV和VUV曝光,以及双曝光和次分辨率曝光。