二手 PRECISION / GCA 19 #9081984 待售

PRECISION / GCA 19
ID: 9081984
Vacuum oven Temperature: 35° - 200°C P/N: 600121259.
PRECISION/GCA 19是一种先进的自动化半导体光刻晶片步进设备。该设备是集成电路(IC)生产线的一部分,在一个系统中结合了光刻、掩模对准和自动晶圆处理。GCA 19的大框架高约116厘米,宽约203厘米,深约41厘米。它有5个运动轴(X、Y和Z-axes,以及两个theta-axes)用于对齐晶片的舞台。两个theta轴使设备能够旋转和倾斜晶片平面,并将其移动到不同角度进行自动对齐。机器使用从掩模反射出来的光,引导到晶片上,以产生对准和光刻。它采用了基于三点几何特征的对准工具和获得专利的"平面旋转"技术,能够精确对准和定位具有两个角度倾斜和两个横向旋转轴的晶片。三点几何资产允许各种晶圆的图桉精确对齐和精确迭加。PRECISION 19还使用了一种具有超短脉冲长度的内部冷却的氙气/氟化物激光器进行照明,允许晶圆表面最大程度的曝光而不会有加热或损坏材料的风险。激光模型还能够在各种波长范围内曝光晶片,从而可以更好地处理多种不同的材料和层。该设备有一个内置的高速对准范围,使自动化系统,允许快速和准确的操作。此外,该装置使用几个传感器来监视和调整激光的曝光水平,并有一个大的触摸屏界面供用户输入。这使操作员能够控制不同的生产阶段并获得可靠的结果。简而言之,19是一种可靠准确的生产线晶片步进机,利用光和激光仪器对晶片进行精确对准和光刻。PRECISION/GCA 19具有内置高速对准范围及其内部冷却工具等功能,专为快速、准确的生产而设计。
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