二手 RUDOLPH JetStep A2300 RDL #9356969 待售

RUDOLPH JetStep A2300 RDL
ID: 9356969
Stepper.
RUDOLPH JetStep A2300 RDL Wafer Stepper是RUDOLPH Technologies的最新型号,RUDOLPH Technologies是一家专门从事光学计量和检验解决方桉的先进成像公司。这种步进器是一种全场步进器,非常适合在前沿半导体研究中应用先进的纳米图案。这种晶片步进器配备了高数值光圈(NA)透镜,包括了一系列技术,如有源光学对准、4路光学缝合、光束分离器和专有的'Apochromatic'照明设备。这种尖端技术的结合使A2300能够以更高的精度、分辨率和可重复性水平进行操作。该A2300还具有许多创新功能,例如集成的自动预览和自动曝光校正、自动阶段索引和远程以太网控制(REC)。此外,系统还包括用于稳定运行的温控室和隔振器,以及用于高级图像分析和数据记录的实时数据采集机(RTDAS)。在性能方面,A2300的NA 0.7在临界半导体应用中提供1.2nm的分辨率和2nm的最小特征大小。该工具还能够每小时多达400个扫描字段,适合超高吞吐量生产。该A2300具有快速的视频图像采集速率,适用于各种过程控制和自动化应用。此外,晶圆步进器也被设计为容易地整合到现有的生产系统中。它包括一个创新的"One Touch Calibration"功能,使设置和调试成为微风,并且通过其多个I/O协议与所有标准半导体计量工具兼容。此外,其集成的脚本语言和强大的自动化功能使其成为即使是最复杂的生产环境的理想选择。总之,JetStep A2300 RDL晶圆步进器是半导体研究和生产的先进选择,具有较高的精度、分辨率和可重复性。该资产配备了一系列创新技术和功能,使其能够处理各种应用程序和自动化要求。该A2300具有一触校准、强大的自动化功能和快速的数据采集速率,是满足先进制造需求的理想解决方桉。
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