二手 SCANLAB intelliSCAN 20 #293658208 待售

SCANLAB intelliSCAN 20是用于微电子处理系统的晶圆步进器。它提供了多种先进技术，使其适合多种应用。IntelliSCAN 20使用了经典的三轴电动机扫描系统，其中包括两个基于电流计的扫描仪和第三个线性电动机驱动级。扫描仪具有高速和高精度的步长，而线性级为晶圆的灵活定位提供了广阔的视野。这三个轴可以同时移动，从而实现高吞吐量和晶圆位置的动态控制。SCANLAB intelliSCAN 20有一系列镜头选项,支持从10 X到2000X的各种放大倍数。这使得它非常适合用于高分辨率成像、光刻和抗蚀剂制图等过程。镜片的低像差确保了尽可能高的精确定位成像和抵抗图样。IntelliSCAN 20具有高精度8位步进电机,可提供高分辨率定位,以实现最高精度。电机还提供各种调整选项,以适应应用程序的特定要求。SCANLAB intelliSCAN 20具有高级功能,如OverScan、节能、自动校准、清洁设置和紧凑设计。OverScan可实现数字对齐,并在晶圆更改时快速重新调整系统。"节能"功能在设置间隔后自动使系统睡眠,从而节省能源。自动校准确保intelliSCAN 20操作的准确性和一致性。Clean Setup提供不需要任何外部调整的低维护解决方桉。Compact Design允许SCANLAB intelliSCAN 20高效使用空间,并使其适合其他应用,如轻量级台式显微镜和高通量生产。总体而言,intelliSCAN 20是一种高性能晶圆步进器,可为各种微电子应用提供精确的控制和高通量。它拥有一系列先进的功能和技术,可确保在一系列环境中准确可靠地运行。