二手 SCIVAX Flan-200-U100-4 #9205055 待售

SCIVAX Flan-200-U100-4是一种自动化晶片步进器，在光刻过程中提供半导体晶片的精确对准和曝光。它可以以200毫米的尺寸同时处理多达4个晶圆,这是现有的最大容量的晶圆。它为用户提供了一个方便的环境,包括台式布局、手动卡带加载、最多4面对齐、批处理调度程序和高精度步进机制。Flan-200-U100-4可用于广泛的光刻应用,如沉积、灰化和晶片蚀刻。它有一个宽广的可调照明窗口，可以露出高达2000毫米尺寸的晶片。此外，它的光源和探测器单元被配置为确保晶圆的一致和准确的曝光和定向。Batch Scheduling System and Image Capture Program进一步简化了步进器的操作。步进器具有几个允许晶片可重复处理的功能,例如自动曝光程序、自动注册、自动识别和自动顺序曝光对齐。所有这些都使步进器能够自动处理晶片,而无需用户控制。此外,步进器的所有操作在低噪声水平的支持下,步进器在使用过程中保持凉爽（33-35°C）,因为它具有高效的液体冷却和空气排气系统。它的X/Y表非常精确,允许1um和0.1度对齐,在X和Y轴上都具有极好的可重复性,并具有功能齐全的教学界面,以便于对集成视觉系统整流程序进行编程。它有两个光源来提供晶片的最佳曝光，一个是带有1000W的汞-氙短弧灯，另一个是具有500W的选项的K氙灯，用于大纬度的曝光时间。步进器还包括一个AMHS Robot Contro Interface（ARC-2），用于自动准确地为曝光过程安装晶片而无需人工干预，以及一个自动化开发单元，用于检测和检测错误以获得最佳晶片结果。作为其安全措施的一部分，SCIVAX Flan-200-U100-4设有一个紧急停止开关，在升起时自动停止光源和探测器装置，以及一个过滤器，以阻挡操作过程中发出的危险紫外线。步进器还有一个内置的激光安全保护罩，可以提醒用户注意任何感知到的危险，如果需要，可以自动关闭光源和探测器。Flan-200-U100-4是一种自动化的高精度晶片步进器,可提供半导体晶片的自动对准、曝光和配准。SCIVAX Flan-200-U100-4具有多种安全功能、用户友好的界面和强大的构建能力,是光刻工艺的绝佳选择。