二手 SCIVAX Flan-200-U100-4 #9209082 待售

SCIVAX Flan-200-U100-4是一种专门用于生产半导体元件的晶圆步进器。它是一种多用途的机器，能够在各种材料中产生高精度、高性能的模式。该机具有200毫米四英寸晶圆级，额定功率高达100瓦。层对层精度在1微米以内，步进器提供低至0.4微米的高分辨率能力。该机器设计用于在晶片或基板层上制作精确的微观特征和图样。它还能够阵列高纵横比结构。它配备了图像放大器，有助于确保晶圆在处理过程中的准确定位和导航。光学系统设计用于亚微米精度的高速扫描。该机采用可变形状区域板（VZP）成像系统，可实现最高的覆盖精度。步进器非常适合各种应用，从MEMS器件制造到半导体器件封装和基板布线。它能够使用多种材料，包括聚合物、金属和陶瓷。它在薄膜和厚膜上的性能都很好，并内置了干蚀刻的支撑。步进器的最大图桉尺寸为200 x 200 mm，最大曝光率为0.4微米/秒，最大分辨率为0.2微米。步进器具有许多先进的分析工具，包括用于点大小和可检测性的缺陷检查工具。图像强度工具可确保图像准确且无噪声。此外,步进器还具有自动校准功能,可随时间推移帮助保持机器的精度。Flan-200-U100-4是一种先进的晶圆步进器，能够在一系列材料上产生各种精确的微观模式。它非常适合许多半导体生产要求，并提供卓越的准确性和性能。