二手 SCREEN RF-300A #9355350 待售

SCREEN RF-300A是一种晶圆步进器，用于半导体制造中复杂光掩模的精确对准和曝光。它的特点是易于使用、设计健壮,并配有市场领先的性能和高级功能。RF-300A的最大投影图像大小（掩模大小）为484x484 mm,曝光波长范围为365-442nm,并具有非球面透镜以提高图像分辨率。它具有创造性的光电驱动设备,能够高效、精确地对准复杂的口罩,并具有高精度。舞台由溷合动力电机系统驱动，最大舞台速度可达270mm/sec，允许最大网格尺寸可达30,620 x 30,620；这使得SCREEN RF-300A适用于高吞吐量的生产方桉。步进器提供多种曝光模式，如单晶片、多晶片、狭缝扫描和反向曝光，以满足各种曝光要求。通过使用高精度单元对准特征和主动对准传感器机器进一步提高了曝光精度，从而确保将图像精确地放置在晶圆上。机器还提供一个独特的电子快门，其中曝光可以由触发器启动，而快门保持打开状态。这允许暂停曝光，允许重新曝光或重置曝光参数，即使在曝光已经开始。此外,RF-300A还有一个内置的曝光报告工具,用于记录曝光时间、频率和曝光能力等详细信息,从而确保可靠的工作流程和数据可追踪性。该机设计方便维护操作，支持各种自动维护功能和彩色液晶显示屏，用于监控曝光过程。步进器还配备了内部冷却资产和电离器，以及排气过滤器，保护用户免受危险化学品和颗粒的接触。总体而言，SCREEN RF-300A是一种先进的晶圆步进器，为半导体制造提供高分辨率的成像和曝光精度。步进器具有强大可靠的特性,非常适合高通量的生产方桉。