二手 SVGL Micrascan MPT #9246179 待售

SVGL MicroScan MPT是一种全自动晶圆步进器，旨在降低非生产率，提高晶圆吞吐量，从过程开始。它提供了完全自动化、高速和可靠的溷合产品处理功能。其软件还允许晶片的精确定位和聚焦，以快速执行光刻应用。步进器采用双轴运动控制，具有三个芯轴，具有卓越的精度和性能。其机械设计由先进的高分辨率检流计扫描设备组成，可调节扫描速度和可调分辨率，可精确定位和瞄准晶片。其光学器件包括精密CCD相机、高分辨率镜头和高级光刻镜头，以获得卓越的分辨率和精度。MicroScan MPT的控制软件包括各种自动化的例行测试和反馈功能,可实现连续和精确的控制,以确保最高质量的打印。它提供了一系列生产监控功能,可提供步骤运动、晶圆对准和错误的详细输出。它还具有一系列数据记录功能,允许用户分析性能并发现任何潜在问题。步进器支持多种产品格式，从大幅面200毫米到300毫米晶圆，并利用广泛的光刻模板库。其自动设备诊断程序可监视所有故障,确保快速检测和解决所有错误。MicroScan MPT专为高可靠性运行和快速循环时间而设计,以提高生产吞吐量。步进器包括一个强大的安全系统，包括紧急关闭功能，在紧急情况下保护人员和设备。步进器的用户友好界面和简单的设置使得开始使用设备变得容易。其先进的控制单元能够在处理过程中对所有机器参数进行可靠的配置和实时监控。该机器还包括一个原位跟踪,用于跟踪流程、数据记录和历史存档的每个步骤中的晶圆。总体而言,SVGL MicroScan MPT为异构过程提供了可靠可靠的解决方桉,允许高效的处理时间和高精度的打印。步进器提供高分辨率、可重复的结果和全面的诊断,以确保高质量的生产和可靠的操作。