二手 TAMARACK M304 #9398334 待售

TAMARACK M304是专门为微芯片行业设计的先进可靠的光学步进器。步进器采用高精度的放置设备，在设备完成过程中确保最高精度和可重复精度。其多相机、五轴运动系统可实现快速吞吐率，方便高产产品生产。M304具有200毫米晶片级,可处理尺寸可达8英寸的晶片。步进器还包括用于控制每个晶片位置的模具衰减的定制曝光柱。此曝光列还可实现高保真宽带曝光,从而减少曝光过程中出现曝光错误的机会。此外,集成的微透镜扫描单元有助于最大程度地减少像素像差,并确保每个模具都能获得准确的曝光。机器的高柔性级补偿机制可以纠正高达1微米的错位，有助于减少晶圆报废。该机还具有50 kHz扫描速度的多轴扫描级,便于在每个晶圆站点进行高速动态扫描。此外,该工具的多分辨率成像路径支持超高分辨率成像,并能够在不到1秒的时间内获取图像。此步进器还提供高级目标识别和焦点开发算法,这些算法旨在帮助减少曝光时间和焦点错误。而且，资产有一个多区剂量控制模型，允许使用者调整每个晶圆位点的剂量水平。步进器还包括极其精确和可重复的真空和载荷/卸载功能,这些功能对于图像放置精度和吞吐量至关重要。TAMARACK M304提供高级功能和极高的精度,非常适合用于微芯片应用。其五轴运动设备和专有的曝光柱提供高通量和优异的产量，而其扫描和剂量控制功能则确保了准确曝光。它的特点也使得有经验的操作员和那些新的晶圆步进技术易于使用。